CMOS-MEMS集積化技術

【集積回路の上に微小な構造を搭載】

担当者：佐藤昇男

集積化MEMSデバイスの設計・作製担当の佐藤昇男です。クリーンルームでの試作を通して、小さなデバイスが精巧に少しずつ少しずつ作られていきます。「ものづくり」の現場で、楽しく忙しく研究生活を送っています。