別紙 図１　 EB リソグラフィ装置内で動作する２軸回転駆動システム 図２　試料上にEB を収束させるために試料の高さを測定する装置（右）とEB リソグラフィ装置 図３　試料位置の測定方法 図４　作製した世界最小の地球儀（ナノグローブ）。海岸線と河川のパターンが形成されている。また、陸地と海はコントラストの違いで区分けされている。 図５　作製したナノフィルタ。30 ナノメータまでの穴の列が形成できている。 Copyright(c) 2004 日本電信電話株式会社