別紙


図1  EB リソグラフィ装置内で動作する2軸回転駆動システム

図1  EB リソグラフィ装置内で動作する2軸回転駆動システム




図2 試料上にEB を収束させるために試料の高さを測定する装置(右)とEB リソグラフィ装置




図3 試料位置の測定方法

図2 試料上にEB を収束させるために試料の高さを測定する装置(右)とEB リソグラフィ装置

図3 試料位置の測定方法




図4 作製した世界最小の地球儀(ナノグローブ)。海岸線と河川のパターンが形成されている。また、陸地と海はコントラストの違いで区分けされている。

図4 作製した世界最小の地球儀(ナノグローブ)。海岸線と河川のパターンが形成されている。また、陸地と海はコントラストの違いで区分けされている。




図5 作製したナノフィルタ。30 ナノメータまでの穴の列が形成できている。

図5 作製したナノフィルタ。30 ナノメータまでの穴の列が形成できている。


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