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NTT持株会社ニュースリリース

図1 実現したMEMS素子 (SASER) の構造

図1 実現したMEMS素子 (SASER) の構造

図1: 作製したMEMS素子(SASER)の電子顕微鏡写真です(色は人為的につけたものです)。オレンジ色の部分が金電極で、信号の入出力に用います。青色の部分は半導体の導電層です。中央にある板バネ振動部が、紙面に垂直方向に振動します。実験では下部の電極から周波数精度の低い振動を入力したところ、上部の電極から周波数ゆらぎが80mHzしかない極めて精度の高い信号が出力されました。

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